适用于氧化亚硅等可气相沉积材料大批量生产；温差控制精度高，高�?span style="box-sizing: border-box;">真空炈�/span>；具备高真空升华，反应，脱脂，脱水，气相沉积材料自动研磨刮料，炉内收集等特殊工艺能力、�/span>

设备特点９�/span>

一次装料量大， 生产效率高、�/span>
全程全封闭全自动化作业，避免粉尘飞扬，生产现场环境整洁干净、�/span>
温度控制1500度以内，升温速率快、�/span>

可以在真空度下保持稳定运行工作、�/span>

设备参数９�/span>

产品展示９�/span>