产品特点

在部分热场中使用碳化硅涂层石墨部件代替纯石墨部件v

>材料致密，无针孔、微裂纹缺陷

适用于单晶硅拉晶炉、硅烷流化床�?FBR)等设备的热场

制备工艺根据产品需求定刵�/p>

可提升热场高温强度、抗热腐蚀、延长热场寿呼�/p>

应用领域

>光伏

>半导佒�/p>