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GaN外延设备石墨部件

GaN外延设备石墨部件的图�?/></a></div></div></div> <div class=

参考报价：: 面议
品牌９�/dt>: 苏州铠欣
关注度：: 516
样本９�/dt>: 暂无

型号９�/dt>: GaN外延设备石墨部件
产地９�/dt>: 江苏
信息完整度：
典型用户９�/dt>: 暂无

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Si外延设备石墨基座 SiC外延设备石墨部件 GaN外延设备石墨部件 MOCVD设备石墨基座纯石墨件产品全碳化硅部件 (Solid sic、烧结碳化硅)

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产品特点

涂层厚度均匀，极�?lt;10um

金属杂质含量<2ppm

涂层致密，无针孔，耐刻蚀，寿命长

>行星盘一致性好，均温性好，盘间温�?lt;2C

应用领域

>GaN功率器件

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