产品优势９�/p>

高强度和稳定性：碳碳PECVD炉承载板通常由碳材料制成，具有很高的强度和稳定性，能够承受高温和化学反应的影响，保证在整个PECVD过程中的稳定性和可靠性、�/p>

良好的热传导性：碳材料的热传导性良好，这有助于在PECVD过程中保持材料的温度一致，从而提高沉积过程的均匀性和效率、�/p>

耐腐蚀性：由于碳材料具有很好的耐腐蚀性，因此碳碳PECVD炉承载板可以在各种化学环境下保持稳定，不会因为化学反应而损坏、�/p>

使用寿命长：碳碳PECVD炉承载板的使用寿命较长，可以减少更换频率，降低长期运营成�?/p>

性能参数９�/p>

产品性能	参数	单位
体积密度	1.2-1.5	g/cm³
抗折强度	120-150	Mpa
抗弯强度	110-130	Mpa
杨氏模量	30-40	Gpa
灰分	500	ppm
导热系数(1000�?	30-32	W/m.k
�?宼�/span>	可根据客户需求定刵�/span>
直径**	可根据客户需求定刵�/span>
长度**	可根据客户需求定刵�/span>
厚度	可根据客户需求定刵�/span>
**使用温度	2800	ℂ�/span>

（无氧环境或惰性气体保护下（�/p>