化学气相沉积炉（碳化硅）可用于以硅烷为气源的材料表面抗氧化涂层、基体改性等、�/span>

�?nbsp;采用先进的控制技术，能精密控制MTS的流量和压力，炉膛内沉积气流稳定，压力波动范围小：�/span>
�?nbsp;采用特殊结构沉积室，密封效果好，抗污染能力强：�/span>
�?nbsp;采用多通道沉积气路，流场均匀，无沉积死角，沉积效果好：�/span>
�?nbsp;对沉积产生的高腐蚀性尾气、易燃易爆气体、固体粉尘及低熔点粘性产物能进行有效处理：�/span>
�?nbsp;采用**设计防腐蚀真空机组，持续工作时间长，维修率极低、�/span>

�?nbsp;炉门：丝杆升�?液压升降/手动升降；旋转移开/平行移开（大尺寸炉门）；手动锁紧/自动锁圈锁紧

�?nbsp;炉壳：全碳钢/内层不锈�?全不锈钢
�?nbsp;炉胆：软碳毡/软石墨毡/硬质复合�?CFC
�?nbsp;加热器、马弗：等静压石�?模压三高石墨/细颗粒石�?/span>
�?nbsp;工艺气路系统：体�?质量流量讠�/span>
�?nbsp;热电偶：K分度�?N分度�?C分度�?S分度叶�br/>