碳化硅烧结炉是用来反应烧结碳化硅皃span style="color: rgb(32, 134, 238);">真空烧结炈/strong>,Z高温?800度,极限真空?x10-1pa,保温层为石墨板和碳毡复合结构,加热室为密闭形式,阻止硅蒸汽溢出,加热材料为石墨,有充气排胶系统、/span>
工作区有?46,4413,,5514,6620?812?732?840等多种规栻/span>