团簇式OLED真空蒸镀工艺装备是自主“OLED真空蒸镀工艺装备”，是“卡脖子”的35项关键技术的第六项。项目技术团队已完成G1(1代线) 和G2.5�?.5代线）的研发设计和生产制造、�/span>

项目技术团队已经解决了大部分关键技术问题（如：源炉技术、精准对位技术（对位精度达到1.5μm）、精密蒸镀电源技术、原位膜厚测量技术、高真空传递机械手、电控系统及自动化控制软件等）、�/span>

公司可对外承接OLED的G1� G2.5工艺线的设计制造、�/span>

技术指栆�/span>

指标	参数
对位精度	CCD精密对位�?.5 υm，机械对位≤150 υm
膜厚均匀性和重复	±2%
总体技术路纾�/span>	采用Cluster方案
工艺流程	设计-审核-外协-组装-电气安装-调试-出厂