合肥康帕因设备技术有限公号/p>
已认?/p>
设备描述
CVD1200C-II-SL 200D50-5Z(含预热器)双温区滑轨式CVD系统由预热炉、双温区滑轨炉、质子流量控制系统、真空系统三部分组成。双温区滑轨炉可移动并可实现快速升降温;PLC控制5路质子流量器,能够精确控制系统的供气;真空泵可实现对管式炉快速抽真空。CVD(化学气象沉积系统)常用于表面材料生长、沉积,是一款实验室常用设备
技术参?/span>
双温区滑轨炉LFT1200C-II 200D50 |
炉体结构 |
该设备采用双层壳体并带有风冷系统,使其炉体表面温度都小于55ℂ/span> ·炉底安装一对滑轨,可手动滑?/span>+/span>以便满足特殊工艺的快速升降温的要求、/span> |
炉管尺寸 |
Φ50/60/80/100×1600mm(可提供特殊定制? |
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功率 |
5kW |
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输入电压 |
220VAC单相 50/60Hz |
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加热元件 |
Cr27Al7MO2(掺钼铁铬铝合金(/span> |
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**温度 |
**温度?200ℂstrong> 额定温度?100ℂ/span> |
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升温速率 |
?0?min(推荐) |
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加热区长度度 |
·两个加热区的长度都是200mm ·分别由独立的温控系统控制 |
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恒温区长 |
·100+100mm(?℃) ·可获得较长恒温区闳/span> |
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控温精度 |
·±1ℂ/span> |
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快速连接法?/span> |
·Φ50快结式不锈钢真空法兰 ·打开法兰直接卸下卡箍即可,取放样品方侾br/>另配备有可调节高度的法兰支架 |
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预热炈/span> |
功率 |
·1kw |
加热匹/span> |
·100mm |
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**温度 |
·1200ℂ/span> |
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工作温度 |
·200-800℃(可根据实际工艺需求调整) |
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五路质子流量控制系统 MFC-5Z |
电压 |
220VAC单相 50/60Hz |
针阀材质 |
316不锈钡/span> |
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量程 |
50sccm?00sccm?00sccm?00sccm?00sccm(可根据工艺要求提供多种量程选择(/span> |
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工作温度 |
5?5ℂ/span> |
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外型尺寸 |
600(L) x 600(W) x 700(H) mm |
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电压 |
AC220V/50Hz单相 |
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功率 |
23W |
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真空系统 LVU-10 |
壳体尺寸 |
·600 (L) x 600 (W) x 700(H)mm |
**承载野/span> |
·1000 Lbs |
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抽气速率 |
·10m³/h ·极限真空度:10-1Pa ·双层立式油污过滤?PE材质)与真空泵连?/span> |
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质保朞/span> |
一年质保期?相关耗材除外,如炉管,密封圈加热元件等易耗件) |
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使用注意事项 |
·炉管内气压不可高?.02MPa · ·当炉体温度高?000ℂ/span>时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压相当,保持在常压状态进入炉管的气体流量需小于200SCCM,以避免冷的大气流对加热石英管的冲击 ·石英管的长时间使用温度<1100ℂ/span> ·对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大?.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉管破裂,法兰飞出等) |
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企业名称
合肥康帕因设备技术有限公号/span>企业类型
信用代码
91340103MA2ND12N6H法人代表
注册地址
成立日期
注册资本
有效期限
经营范围