【简单介绍【�/strong>

滑轨管式炉一体化结构设计,用于1100℃以下快速升温快速降温的特殊工艺要求，通过移动炉体实现快速冷却的目的。同时也可以预先设定温度，然后移动到样品处，达到快速升温的效果。高纯石英管作为炉膛，无污染，抗急冷急热性能好。设备外形精巧美观，周边拓展性好，适合使用广泛的RTP工艺及CVD石墨烯工艺、�/p>

【详细说明【�/p>

FGL（RTP（�/span>系列滑轨式管式炉(T max 1100ℂ�/span>)

滑轨管式炈�/span>一体化结构设计,用于1100℃以下快速升温快速降温的特殊工艺要求＋�/span>通过移动炉体实现快速冷却的目的。同时也可以预先设定温度，然后移动到样品处，达到快速升温的效果、�/span>高纯石英管作为炉膛，无污染，抗急冷急热性能好。设备外形精巧美观，周边拓展性好，适合使用广泛皃�/span>RTP工艺叉�/span>CVD石墨烯工艺、�/span>

特点

1. 工作温度RT｝�/span>1000℃、�/span>

2. 炉管管径25mm｝�/span>90mm可选、�/span>

3. 温区个数1�?/span>

4. 程序控温仪，智能逻辑PID算法，控制精准。可编辑、储存并调用多段程序，无需重新设置，操作简单、�/span>

5. 采用陶瓷纤维FEC加热模块，电阻丝内嵌式环绕加热、�/span>

6. 炉壳结构，双层炉壳风冷结构、�/span>

7. 炉口密封：不锈钢双层密封法兰，进、出气美标针阀、�/span>

8. 炉管保护：两端可调节式法兰支撑结构，延长石英管的使用寿命、�/span>

9. 超温保护功能，当温度超过允许设定值自动断电、�/span>

10. 安全保护当炉体漏电时自动断电。、�/span>

11. LED高强度抗破坏全不锈钢按钮，经久耐用、�/span>

12. 额外选配：炉内测量系统（氧含量检测系统、温度检测系统）：�/span>

真空系统（旋片式机械泵、扩散泵机组、分子泵机组）；

气氛系统（浮子流量计、质量流量计）；

监控系统：（温度记录仪、触摸屏远程监控）；

注：选件需配置拓展柜体：�/span>

技术参数：