功能特点

可编程精密控温。可独立控制，也可从上位机软件控刵�/span>

超低的盘面温度梯�?/span>

独立的上盘面真空吸气槽，用于吸附固定晶圆样品

软件可拓展性强，可提供LabView等语言皃�span>SDK

#升级顸�span>#性能可升级，详见配置列表

#选择顸�span>#是否带有上盖。上盖功能如下：

可拆卸的观察窖�/span>

可变的样品腔高度

用于负温时的除霜设计

向腔室内充入气氛

可做改动或定制，详询上海恒商

技术参�?/span>

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胼�/span>

温度范围

-190� �600ℂ�/span>负温需使用液氮制冷

可提升温度上陏�/span>

温度分辨玆�/span>

0.001ℂ�/span>

温度稳定�?/span>

��0.05ℂ�span>(at 100ℂ�span>)可提升稳定�?/span>

温度均匀�?/span>

��0.1ℂ�span>/cm可升级均匀�?/span>

*小控温速度

��0.1ℂ�span>/小时

**加热速度

+150ℂ�span>/分钟(at 100ℂ�span>)

**制冷速度

-100ℂ�span>/分钟(at 100ℂ�span>)

温度传感�?/span>

100��铂质RTD

温控方式

开关式PID可升级为LVDC弎�span>PID

尺寸

样品腔面�?/span>

35 mm x 35 mm

*注：液氮泵型号不同，制冷表现也会有差异，请悉�?/span>

配置列表

栆�/span>

凅�/span>

HCC602温控晶圆夹盘

∙�/span>

mK2000温度控制�软件免费，控制线有多种接口供逈�/span>

∙�/span>

卆�/span>

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**温度�600�升级丹�/span>更高

逈�/span>

酌�/span>

仵�/span>

上盖

液氮制冷系统包含液氮泵与液氮罐，使样品降至负�?/span>

外壳水冷配件用常温水或冰水循环防止外壳过�?/span>

固定支架把夹盘固定在使用平台上，防止滑动

温控联动显微镜相�温度-图像联动工作，附软件

线性可变直流电溏�span>(LVDC)装在温控器里，抑制电噪音

*注：产品有多种配置变化，详询上海恒商