液相法衬底产品介绌/strong>
3C N型SiC具有更高的电子迁移率?C-SiC?100 cm2/V∙s?H-SiC?00 cm2/V∙s),同时由于3C-SiC具有更小的禁带宽度,可使器件在氧化层制备上具有更小的FN隧穿电流以及可靠性,能大幅度提高器件产品良率、/span>

主要指标
晶型?C
尺寸?0.8±0.38 mm 2英寸?英寸?英寸
非标尺寸?0*10mm,20*20mm,其它按需定制?nbsp;
厚度?50±25μm
微管密度:<0.1 cm-2
电阻率≤0.0006 Ω∙cm