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日本电测EX-731型荧光X-Ray镀层测厚仪
规格参数9/span>
测量台操作方弎/span> |
手動 |
自動 |
||
测量行程 |
单位(mm) |
170 110 |
300 280 |
|
移動野/span> |
X(mm) |
70 |
80 |
|
Y(mm) |
70 |
60 |
||
Z(mm) |
80(測定物?*150(/span> |
50 |
||
測定物高?*(/span> |
80'/span>150可选) |
50 |
||
外形(mm) |
600(W)465(D)730(H) |
|||
重量(kg) |
79 |
85 |
||
测量台载里/span>(kg) |
3 |
1 |
||
電源 |
AC200V10V |
X線源 |
油浸式小型微焦点X線箠/span>管電?/span>50kV管電流可夈/span> |
照射方式 |
上面垂直照射方式 |
検出?/span> |
比例計数箠/span> |
准直孓/span> |
5種類(自動切換弎/span>) 0.1 0.2 0.5 1.0 2.0mm (可选换如下准直孓/span>)9/span>0.050.5?.05 |
样品观察 |
CCD镜头 |
測定対象 |
原子番号22(Ti)}/span>82(Pb)原子番号21以下可应用吸收法测量 |
滤波?/span> |
(Co?/span>Ni)自動切換 |
厚度测定范围 |
原子番号22}/span>249/span>0.2~約20m原子番号25}/span>409/span>0.1~約30m原子番号41}/span>519/span>0.2~約70m原子番号52}/span>829/span>0.05~約10m |
検量緙/span> |
検量線自動作戏/span> |
测量功能 |
単层膜厚測定2层膜厚測宙/span>3层膜厚測宙/span>合金膜厚成分比同時測宙/span>无電解膜厚測宙/span> |
测量模式 |
自動测量X-Ray功率可选择 |
自動测量台功胼/span> |
測定位置指定(X-Y-Z)同一点重复测量功胼/span>原点补正功能 測定位置确认功能自動校正 |
数据処理機能 |
統計量表示:平均、標準偏差?*?小、方差?/span>Cp?/span>Cpk饼图表示柱状图表礹/span>測定值立体图表示w/span>-R管理国/span> |
可测量厚度元素种类: |
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