特性：

• 专为半导体行业设讠�/p>

• 非金属，流体通道内无O型圈

• 渗流设计

• 无金属固定件，如拉杆或支枵�/p>

• 有集成脉动均衡器可逈�/p>

• 100级净室内组装

技术数据：

• 机加工的塑料设计，有聚乙烯（PE）和聚四氟乙烯（PTFE）两种材�?/p>

• 优化的聚四氟乙烯（PTFE）隔膜技�?/p>

• 五种尺寸：从10mm�?/8"）到38mm�?-1/2"（�/p>

• NPT接口

• **耐受温度�?00° C�?90°F（�/p>

• 精确的流体输�?/p>

性能数据９�/strong>

• **流量�?00lpm�?2gpm（�/p>

• **吸程：干�?m�?3.1'），湿吸9m�?9.5'（�/p>