Semiconsoft MProbe薄膜测厚�?/strong>

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大部分半透明的或具有轻微吸收性的薄膜能够被快速、可靠的测量９�/strong>

氧化物、氮化物、感光耐蚀膜、聚合物、半导体(Si� aSi，polySi)、半导体化合�?AlGaAs，InGaAs，CdTe，CIGS)、硬涂层(SiC� DLC)� 聚合物涂� (Paralene� 聚甲基丙烯酸甲酯� 聚酰�?� 薄金属薄膜等、�/p>

厚度范围:1 nm-1 mm

波长范围:200nm -5000nm

在薄膜太阳能电池中的应用:

aSi� TCO� CIGS� CdS� CdTe-全太阳能堆栈测量

LCD� FPD应用:

ITO� 细胞间隙，聚酰胺、�/p>

光学涂层:

介质滤波器，硬涂层，防反射涂层半导体和电解质: 氧化物，氮化物， OLED堆、�/p>

实时测量和分析。各种多层次的， 高强度的，厚的， 独立和不均匀的层 、�/p>

丰富的材料库 (500多种材料) � 新材料容易增添、�/p>

支持参数化材斘�

Cauchy� Tauc-Lorentz� Cody-Lorentz� EMA �?

使用灵活:

可联网在操作台桌面或现场进行研究与开发。用TCP或Modbus接口能容易的和外部系统连接、�/p>

测量参数９�/strong>

厚度、光学常数、表面粗糙度、�/p>

界面友好强大:

测量和分析设置简单。背景和缩放修正，连接层和材料、�/span>

离线数据分析９�/strong>

仿真和灵敏度分析，多样品测量，生产批量处理、�/span>

MProbe系统示意国�/span>

精度	0.01nm or 0.01%
精确�?/span>	0.2% or 1 nm
稳定�?/span>	0.02nm or 0.03%
光斑尺寸	标准� 3mm � 可以小到 3��m
样本大小	� 1mm 赶�/span>

主要参数

模型	波长	范围光谱仪探测器/检测器/光源	厚度范围 *
VIS	400-1100 nm	分光� F4/Si 3600像素�? �?卤素光源	15 nm to 20 mm (option:up to 50 mm)
UVVisSR	200-1100 nm	分光� F4/ Si CCD 3600 像素�?�?钨卤组合式光溏�/span>	3 nm to 20 mm (option:up to 50 mm)
HRVIS	700-1000 nm	HR分光仪F4/Si 3600 像素�? �?卤素光源	1 mm to 400 mm
NIR	900-1700nm	传输光谱�?TVG) F2/512 InGaAs/�?卤素光源	100 nm-200 mm
VISNIR	400-1700 nm	分光� F4 Si CCD 3600 像素炸�/p> (Vischannel)；传输光谱仪(TVG) F2/512 InGaAs PDA( NIR channel) �?卤素光源	15 nm to 200 mm
UVVISNIR	200 -1700 nm	分光仪F4 Si CCD 3600 像素�?Vis频道);传输 �?钨卤组合式光溏�/span>	3 nm -200 mm
NIRScan	900nm -5000nm	扫描分光�?InGaAs/ MCT 探测� (扫描时间 <60 � ) TH-SiN光源	100 nm -800 mm
XT	XT 1590nm -1650nm	传输光谱� (TVG) F2/512 InGaAs/� -卤素光源	10 mm- 1 mm

* T� n & k 测量的厚度范围为25nm � 5um

其他配置也是可以做到，欢迎原始设备制造商咨询和定制开发项目、�/p>

对所有系统中的配件有一年的质量保证、�/span>