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光学仪器及设夆/a>
测量/计量仪器
实验室服加/a>
光谱检测分析仪
测厚?/a>
辐射测量仪器
德国进口JETI过程质谱仪Versa PS 2000介绍
过程质谱?/span>Versa PS 2000是为在线透射测定和及时测量生产过程中的光层而设计的、/span>它也可用于其他光学测试,例如:涂覆过程中液体或者反射光的光谱传输测野/span>
PS 2000的特炸/span>
快速精准测野/span>(测量时间低至10 s)
快速读叕/span>
多种数据接口
由外部位置传感器读出
性能稳定可靠
Versa PS2000的固件能够预夃/span>理测量数据,所以我们的迆/span>程光谱仪能够夃/span>理计算进程数据,例如反射率和光层厚度Versa PS 2000也可与一个外部光源(卤素灯或者疝气闪光灯(/span>
应用数据
在线光谱测试USB (high or full speed)
真空沉积的过程控LAN
薄膜厚度测试RS 232/ 422/ 485
仪器仪表分析
多通道光谱分析系统
产品描述
存储的参考参?/span>
数据预处琅/span>暗信号矫止/span>**校准
内部计算平均值、插值、传输率、反射率、吸收率、色度坐标等参数
基于DLL皃/span>SDK咋/span>SCPI(仪器标准指令)可兼容的控制语法
软件和硬件的触发
规格参数
光学参数 | |
光谱范围 | 200 nm ... 1000 nm |
光谱?/td> | flat field holographic grating aberration correction mirror |
光谱带宽 | ≣/span>4.0 nm FWHM (100 m slit) ≣/span>2.5 nm FWHM (50 m slit) ≣/span>2.0 nm FWHM (30 m slit) |
不对称因孏/td> | ?/span>0.7 |
光输?/td> | 200mm光纤?/span>F-SMA 905接头 |
波长准确?/td> | ≣/span>0.2 nm (HgAr线性光) |
波长重复?/td> | ≣/span>0.02 nm (HgAr线性光) |
杂散先/td> | < 0.2 % (ASTM E387 GG495+/span> 波长= 420 nm/ 600 nm) |
动力 | 取决于探头类垊/span> |
探头 | 25 mm BTCCD CMOS NMOS* |
电子参数 | |
数字解析?/td> | 16 bit |
AD噪声 | 2 counts RMS |
采样速率 | up to 4 MS/ s |
数据传输玆/td> | up to 40 Mb/ s (via High Speed USB) |
集成时间 | 0.01 ... 65535 ms |
触发延迟 | 10 s |
抖动 | ≣/span>2s |
数据接口 | USB Ethernet or RS 422/485 RS 232 |
电源 | 110 220 V or PoE (if Ethernet is used) |
机械参数 | |
体积 | 25 cm x 25 cm x 15 cm |
重量 | 3 kg |
标配清单 | 主机、配套软件、电源线、JETI软件开发包、操作手冋/td> |
其他配件可依客户需求订酌/p>
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