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光学仪器及设夆/a>
测量/计量仪器
实验室服加/a>
光谱检测分析仪
测厚?/a>
辐射测量仪器
LA-150 DC 实验室探针台
LA-150 DC是SemiProbe一款价格适中、体积小?50mm?英寸）探针台，适用于研发中心和各大高校，具有高稳定性和灵活性，满足你实验室测量的需求。它配置完整，安装经由客户完成，操作可在一小时内完成、/span>
SemiProbe的实验室探针台专门设计于满足研究人员的测试需 --- 操作简单轻松、体积小型便于携带、价格适中具有竞争力以及它的模块化设计。与之相比，一般情况下，这样功能的探针台是非常昂贵的，但这款实验室探针台能以非常有竞争力的价格实现提供了多种产品特点和选择 ---多种平台、卡盘、光学组件和操纵器。并且可在之后增加各种附件从而增强系统功能性、/span>
产品特点和优势：
? 体积?-- 适用于桌面，小型工作台，手套式操作箱或者暗箰/span>
? 系统配置完整
? 组件可更?--可当做单独应用系统或者多个应用系统使?/span>
? 模块化设?-- 可增加多个配件实现更多的性能
? 直流电、高?微波和Kelvin版本
配置包括９/strong>
?硬铝基座，带有橡胶隔振脚
?粗糙和精细的晶圆平台调整，附有可更换的平台选择--- 包装部件或者热部件
?精细的平台移动，使用精准的测微计控制--- X (25 mm) Y (25 mm) & Z (>20 mm)
?粗糙?60度）和精细（10度）theta调整
?150mm(6英寸)卡盘，附有隔离适配器和真空控制系统
?材质为铝，镀不锈钢，附有可移动的前锲孏/span>
?精准的测微计 台板Z上升?3mm（/span>
?两个DC MA-8005 操纵器，附有磁性基座，面板和同轴探针臂（标准）
?显微镜杆，附有同轴和线性显微镜X，Y移动50 mm x 75 mm
?6.7:1变焦(130x 放大倍率) 三目立体变焦显微镜，工作距离?00mm
规格参数
| 尺寸 | 420 mm X 540 mm X 535mm (16.5 X 21.3 X 21.1? (W，H，L) with Optics |
| 重量 | 32 kg (70 lbs.) |
| 基座 | Solid Aluminum rigidbase on rubber vibration isolation feet |
| 卡盘平台X-Y 移动 | Adjustable magneticslide for coarse adjustment (> 150 mm) Fine micrometeradjustment 25 mm (X Y) Entire stage easilyremoved via magnetic base |
| 卡盘平台Z 移动 | Z travel: 20 mm(0.78? with micrometer driven contact/separation |
| Theta 移动 | Travel: 360 degrees(coarse) and 10 degrees (fine) with theta locking knob |
| 卡盘 | Vacuum or mechanicalclamping round or square HF ambient thermal and custom Handle die wafflepacks sawn wafers on frame broken wafers and wafers up to 150 mm Nickel plated steelwith concentric vacuum rings (standard) other materials available |
| 台板 | Aluminum withstainless steel top and removable front wedge for easy wafer handling Manipulator fixation magnetic (standard) vacuum (with optional vacuum manifolds) |
| 台板移动 | Micrometer drivenplaten Z adjustment |
| 显微镜安裄/td> | Rigid aluminum post(standard) or boom available |
| 显微镜移?/td> | Manual coaxial andlinear fine microscope movement - 50 mm (X) and 75 mm (Y) (2”x3? |
| 光学组件 | Trinocular stereozoom microscope (standard) compound or zoom tube (optional) |
| 其它工具 | Power: AC 110/220V AC50-60 Hz 20A Vacuum: 23 Hg or -0.8bar |
| 可选配仵/td> | CCTV Systems (camera，monitor and adapter) and stand (shown in picture page 1) Manipulators ProbeArms Probes Cables Coaxial Triaxial Kelvin HF Optical Probe Card andPackage Part Holders Vibration IsolationTables Dark Box Stages wafer，packaged part thermal |
备注：规格参数的数值具体取决于探针系统的配置和配件要求
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