Semiconsoft MProbe Vis膜厚测试�?/strong>

让你成为测量专家 �?/span>

大部分半透明的或具有轻微吸收性的薄膜能够被快速、可靠的测量：氧化物、氮化物、感光耐蚀膜、聚合物、半导体(Si� aSi，polySi)、硬涂层(SiC� DLC)� 聚合物涂� (Paralene，PMMA，聚酰胺)，薄金属薄膜筈�/span>、�/span>

MProbe系统

精度	0.01nm�?.01%
精确�?/span>	0.2% �?nm
稳定�?/span>	0.02nm�?.03%
光斑尺寸	标准�?mm� 低至3��m
样本大小	�? mm

厚度范围: 15 nm-50 um

波长范围: 400nm -1100 nm

LCD� FPD应用: ITO� 细胞间隙，聚酰胺。光学涂屁� 介质滤波器，硬涂层，防反射涂层半导体和电解质: 氧化物，氮化物， OLED堅�/span>

实时测量和分析、�/strong>各种多层次的� 薄的，厚的，独立和不均匀层、�/span>

丰富的材料库(500多种材料) � 新材料容易增添。Cauchy� Tauc-Lorentz� Cody-Lorentz� EMA 筈�/p>

使用灵活:可联网在操作台桌面或现场进行研究与开发、�/p>

用TCP或Modbus接口能容易的和外部系统连接、�/span>

测量参数９�/strong>厚度、光学常数、表面粗糙度、�/p>

界面友好强大:测量和分析设置简单、�/p>

实用的工具：仿真和灵敏度分析，背景和缩放修正，连接层和材料，多样品测量，动态测量和生产批量处理、�/span>

测量300 nm 硅氧化膜 测量与模型数据拟吇�/span>

主要参数

从硅晶片原反射比。信�?*�?6位）、�/p>

积分时间�?0ms

光谱范围(nm)	400-1100
刅�span>光仪/检测器	分光仪F4，Si CCD 3600像素�?6位ADC＋�/p> 范围360-1100 nm
光谱分辨玆�/span>	<2 nm (标准) <1 nm (选项)
光源	卤钨灯（Xe填充�?Ｗ， CT 2800o 使用时间: 10000 hrs
反射比探浊�/span>	光导纤维（７纤维束）＋�/p> 400��m纤维�?/span>
精度	<0.01 nm�?.01%
准确�?/span>	<1nm�?.2%
重量	4 kg
尺寸	8”x 10� x 4� (WxDxH)
功率	100-250VAC� 50/60 Hz 20W

测量500nm AlN. 测量参数：厚度和表面粗糙度� 换算系数应用到正确的距离以改变配置、�/span>

选配硬件
-FLVis	Vis消色差聚焦透镜. WD:35mm. 光板尺寸: <0.5mm.
-LP500	长通滤片， 波长范围�?00nm以下. 用于测量光阻材料。（其他滤器可用（�/span>
-FDHolder	样品架朝�?测量透明和柔韧的样本
-TO	选配透射玆�/span>
-TO Switch	2通道开关，结合测量反射率和透光�?
- 2oW	更改�?0W (CT 3100o� 使用时间2000hrs)钨卤素灯.
-HR	升级光谱仪分辨率<1nm
- TR	在输�?输出触发5V TTL�?外部(输入) 触发器以开始测量，6输出触发�?/span>

软件选项
-MOD	基于Modbus标准远程控制(TCP)
- CM	不同测量与指定数量的测量�?或延连�/span>