Semiconsoft MProbe 膜厚测试�?/strong>

MProbe � � � � � � � � �?/span>

大部分半透明的或具有轻微吸收性的薄膜能够被快速、可靠的测量：氧化物、氮化物、感光耐蚀膜、聚合物、半导体(Si� aSi，polySi)、硬涂层(SiC� DLC)� 聚合物涂� (聚对二甲苯，PMMA，聚酰胺)� 薄金属薄膜等、�/span>

厚度和其他参数的均匀性测量对于许多应用程序是很重要的、�/span>

映射选项包括:

1.XY电动平台(150�?00�?00毫米游程)

2.固体19 x19"铝合金平�?/p>

3.探头�?反射/透射测量均可)与光学系绞�/p>

4.调节�?/p>

5.支持软件(映射配方，等�?、�/span>

定位精度	< 2 ��m
分辨玆�/span>	< 0.5 ��m
驱动	步进电机
调节�?/span>	一体化平台
通讯	串口(RS232)
尺寸	19� x 19� x 10� ( 6� � 8”阶�?
重量	12 kg

硬件选项
-150XYM	6”x6� (150x150mm) XY电动平台
-200XYM	8 x8�?200x200mm) XY电动平台
-300XYM	12x12�?300x300mm) XY电动平台
-VAC	真空夹盘(样品架通过一个电机泵插入微孔)