主动隔振�?HERZ

主动隔振台，主动减振台，主动防震台，主动式振系统。为各类透射式电子显微镜(TEM)、扫描式电子显微�?SEM)、发射式电子显微镜、探针显微镜、扫描隧道显微镜、原子力显微镜（AFM）、横向力显微镜、�/span>白光干涉仪，光刻机，微纳米结构和加工仪器！超低频隔震台、防震台、减震台、除震台�?/span>

产品特点

主动隔振频率 �?Hz - 200Hz

• 被动隔振频率>200Hz

• 5-20ms的响应时闳�/span>

• 安装简单，容易使用

• 稳定性高，能无故障连续使用多平�/span>

• 紧凑、模块化的多功能设计

• 多种规格尺寸的面板支持各种研究及应用

产品应用

• SEM TEM

• UHV-SPM 光刻

• 光谱测量 高精度测�

• 其他高精密仪�

性能优势

• 系统主动检测输入振动并动态消�

• 六个空间方向的自由隔�

• 系统内部反馈回路抑制所有机械共�

• 低频隔振性能优秀

• 无低频共振、无空气要求

技术参�?/strong>