MaxMile LED 外延� EL/PL 联合测试系统

4-inch Desktop 8-inch Desktop Robot I System Robot II System

1、外延尺�?**12� ): 2"-4" 2"-8" 2"-8" 2"-8"

2、工作台尺寸(W��D��H):18"��18"��14" 18"��18"��14" 32"��32"��68" 57"��32"��68"

3、外延装载功能： manual manual manual/robot robot

4、装载盒数量� n/a n/a 1 up to 3

5、装载盒检测： n/a n/a yes yes

6、外延尺寸检测： n/a n/a yes yes

7、装载盒外延映射� n/a n/a yes yes

8、预对准� n/a n/a yes yes

9、外延片快速映射功能测试：

标准：EL（电致发光），PL（光致发光），EL / PL相结合，IV，反向特性，翘曲、�/p>

可选：膜厚测试 ，GaN on Si特征，测试温度控制�?

10、光谱检测范围：从紫外到近红外（默认�?00nm�?00nm（�/p>

11、光谱分辨率�?.5-2 nm，取决于光谱范围选择和系统配�?/p>

12、测试项目：

1、电致发光Mapping９�/p>

波长--WLP/WLD/WLC （峰�?�?中心）波长，半高宽度、�/p>

强度—辐�?发光功率，转换效率、�/p>

电流—正向电�?电压，导通电压，反向漏电�?电压，阈值电压，导通电阻，顶部电阻

正向漏电流，串接电阻，理想因子，等、�/p>

2、光致发光：

波长—WLP/WLD/WLC （峰�?�?中心）波长，半高宽度、�/p>

强度—辐�?发光功率，转换效率、�/p>

3、IV特性Mapping９�/p>

正向电流/电压，反向漏电流/电压，阈值电压，导通电阻，等、�/p>

4、其他特性Mapping９�/p>

翘曲�?/p>

薄膜厚度*

5、测试曲线类型：

特定驱动电流/电压的电致发光光谰�/p>

光致发光谰�/p>

LIV—电�?发光强度� 电压

输出强度� 驱动电流

波长&半高宽� 驱动电流

反向IV

6、CVD外延布局Mapping:

对于上述所有测试项目，无论mapping还是快速测试均可做布局国�/p>

注意：软件可以客制化，可为客户特殊的器件参数做mapping国�/p>

13、激发源：EL: Keithley 数字电源;PL:405nm标配，MaxMile配置其他激发源、�/p>

14、EpiEL探针类型：Type I� Type IA� Type II� Type IIA� Type IIB� Type IIC� and GaN-on-Si

15、电流测试：>10 -12A

16、控制单元与操作系统:EpiEL内部电脑使用64位微软Windows7/8操作系统

17、采样点/采样步骤９�/p>

1、电致发光采样点和每个点的光/电测量步骤都可由*终用户设置、�/p>

2、光致发光采样点可以�?终用户（高分辨率应用于高要求的应用，快速扫描可用于批量生产的质量控制、�/p>

3、用户可自定测试点的布局、�/p>

18、测试时间：每片外延片测试约0.5-12分钟，这取决于测试类型、采样点、检测协议和测量步距设置的不同之夃� 光致发光选项扫描速度是每�?多达50点、�/p>

19、报告生成与数据展示：HTML (Brief/Abbreviated/Full) /XML/CSV/TXT

20、Mapping颜色编码:彩虹色，渐变色，二元色，温度，灰色，或任何由*终用户指定的颜色类型、�/p>

21、电源：15A/110VAC 或是10A/220VAC�?*电压（�机器人系统需要真空、�/p>

22、环境条仵�温度� 15� - 30� ，相对湿度：30� -70％无凝结、�/p>

Epi-EL/PL联合测试系统