PS4L 全自动探针台

SemiProbe是美国一�?*的专业探针台研发与制造公司，拥有多项**技术，提供完整的所有探针测试的产品与解决方案。其产品包括全自动，半自动，手动探针台，MEMS测试探针台，双面测试，超低温，高真空探针台等等。SemiProbe 设计制造创新性模组化探测检测系统，客户遍及世界各地，其中包括大专院校、政府科研实验室、各类半导体制造公司、涉及微机械、纳米技术、光电技术、光伏技术等领域，为科研以及制造提供经济高效、实用、扩展性强的探测系统。同时SemiProbe还为用户提供强有力的技术支持，可针对用户的具体应用需求，定制相对应的产品和技术方案、�/span>

我们有可以解决您所面临问题的一�?*的方案，PS4L 全自动探针台是基于SemiProbe可适应性机�?*研发的一套系统，与传统检测系统不同，PS4L 全自动探针台所有的基础组件：基座、平台、夹具、显微镜装置、显微镜移动、光学部件、操纵装置等，都是可以更换的。这些特征使得PS4L 全自动探针台可适应不同应用需求，并且成为节省经费�?*选择。这种独特的设计能够准确满足客户的要求，更重要的是，PS4L系统能够进行现场升级，以适应环境测试条件的改变。PS4L系统的设计理念，与传统检测设备相比，能够让客户节约更多时间，更多成本、�/span>

凭�?0年的实践经验，美国品牌SemiProbe可以迅速为您提供各种定制化方案，以解决不同的难题。我们的宗旨就是让客户使�?少的资金获得**的技术、更及时的响应市场需求、�/span>

SemiProbe产品的独特优点有�

1.SemiProbe****技术的模块化结构设计，可以使探针台在一个基本平台的基础上不断的进行升级，且升级可在客户现场进行，机台不需返厂。其中PS4L系列产品，可以在PS4L基础平台上，由手动探针台升级为半自动探针台，半自动探针台升级为全自动探针台，或者由6''升级�?''�?''升级�?2''，增加密闭测试仓，增加高低温等等。这些独特的优点，目前在业界独此一家�

2.SemiProbe的产品，全部都在美国本土设计制造、�/span>

3.SemiProbe的另外一个优点是直流探针座和RF探针座通用，用户只要一种探针座，换上直流或RF探针，即可做不同的测试，既方便又节省成本。目前业界其他公司的产品，多数直流探针座和RF探针座是不一样的，并且价格昂贵，无法通用。其超高精度的亚微米级探针座，保证了高端精密测试的需求、�/span>

产品优势�

1.可满�?*18英寸的晶圆基底的测试要求，并能兼容处�?2/8/6/4英寸硅片及碎片、�/span>

2.主要应用领域：器件性能、MEMS、光电子学、纳米研究、光伏电池、失效分析及材料等相关领域、�/span>

3.可做直流和微波测试、�/span>

4.系统可在客户现场升级、�/span>

5.可增加高低温及屏蔽系绞�/span>

6.手动探针测试方式，扎针对准方式灵活、�/span>

7.可方便搭载loadpull� 激光测振及电学信号测试等不同的外围设备、�/span>

8.可搭载各种规格探卡、�/span>

9.主要部件可依据实际要求定制、�/span>

PS4L 全自动系绞�/span>

1.可选尺寸：100 mm (FA-4)� 150 mm (FA-6)� 200 mm (FA-8)� 300 mm (FA-12)

2.模块化结构设计的硬件和软仵�/span>

3.所有的基础组件：平台，夹盘，光学组件和终端操纵装置都是可以更换的、�/span>

4.可现场进行升�?/span>

5.便携式MHU—可移除，移动，对接到任何一台PS4L半自动系统从而添加自动化功能

6.可选各种各样全面化的光学附件和升级装置

PS4L 全自动探针系�

SemiProbe的PS4L 全自动探针系统是模块化结构设�?明显�?灵活的自动探针台。它采用了SemiProbe****技术Probe System for Life (PS4L)可适应性结构设计，提供�?***的灵活性和大大地为客户节省了资金费用。PS4L自动探针系统可满足客户对精准的规格参数的要求、�/span>

主要特征９�/strong>

1.同一系统可符合多种应用需求—� DC，高频率，OPTO，MEMS以及更多

2.有三种操作模式可选：全自�? 24/7)、半自动和手�?/span>

生产和分析性能

3.可处�?�?�?�?英寸的晶圆和基底

可现场升级更大的尺寸

4.可处理die，晶圆和帧上晶圆，有两个终端操纵装置

5.可处理薄和弯曲的晶圆- 50 um �?0 um

硅和III-V族化合物

6.可选多个盒子，一般是两个

7.灵活的PILOT控制软件�? 自动晶圆和芯片对准，Z高度探测和分析，晶圆形貌，界面和更多、�/span>

8.多种选择-热夹盘，光学部件，CCTV系统，条形码阅读器，OCR，操纵器，探针卡和更多、�/span>

9.模块化设�?PS4L探测系统具有****的灵活�?/span>

技术参�?/p>

尺寸:	750 mm x 650 mm x 1930mm (29.5� x 25.4� x 76�? (W，H，L) � with optics
重量:	410 Kg (900 lbs.)
夹盘平台X-Y移动:	Travel: 155 mm x 155 mm Speed: 100 mm/sec (max) Resolution: 0.1 ��m Repeatability: +/- 1.0 ��m Accuracy: +/- 2 ��m Planarity: +/- 8 ��m over travel range Nema 17 stepper motor Optical linear encoder
夹盘平台Z移动:	ZTravel: 12 mm Resolution:0.5 ��m Repeatability:+/-1 ��m
Theta移动:	Travel:+/-8 degrees (User specified) Resolution:0.29 arc-secs� (0.00001 degrees)
夹盘９�/td>	Roundor square with rings or holes� ambient� thermal and custom with lift pins Handledie� waffle packs� sawn wafers on frame� broken wafers and full wafers up to150 mm Nickelplated steel with concentric vacuum rings (standard)� other plating materialsavailable Planarity:8 ��m
压盘９�/td>	Aluminumwith stainless steel top 360degree manipulator placement Manipulatorfixation � magnetic� vacuum
压盘移动９�/td>	PlatenLift: Choice of fixed or adjustable Adjustable:coarse 40 mm� fine 200 um
显微镜安�?移动９�/td>	Mounting � Boom� Post or Bridge Movement � Manual or Programmable � 50 x 50 mm� 50 x 75 mm� 100 x 100 mm
光学９�/td>	StereoZoom� Zoom Tube� A-Zoom or Compound Microscope

其它工具９�/td>

Power: AC 110/220V AC 50-60 Hz 20A Vacuum: 23 Hg or -0.8 bar

备注：规格参数的数值取决于探针系统的配置和配件要求