测量系统

测量原理

白光干涉泔�/font>

z-定位系统

Piezo 物镜调节系统

高度测量范围

垂直分辨玆�/font>

Up to 400 ��m

<1 nm

尺寸

270x127x165 mm(HxWxD)

物镜放大倍数

横向测量范围

*小分辨率

10x or 20x

480x360 um?or320x240 um?

1.20 umor0.90 um

测量时间

< 1min.

软件

smartWLI

软件用于测量地形和使用一个直接接口到MountainsMap分析软件输出�?D数据＋�/span>自动拼接模块

MountainsMap?

广泛的分析软件以及轮廓和三维可视化、测量数据预处理和后处理DIN EN ISO粗糙度和高度的含量测定，顺序处理，测量记彔�/span>

文档格式

ASCII� SUR� BCR-STM� BMP� JPEG� TIFF