主动减震�?TS系列+固润光电

是一款紧凑型、模块化的六自由度隔振系统，用于抵消工作环境对灵敏度高的精密设备产生的不必要振动，以提高精密设备的性能，具�?*的性能及通用性。该隔振台的主动隔振频率� 0.5Hz - 200Hz，被动隔振频玆�200Hz，其能够整合到现有的需要低频隔振的设备中，主动检测输入振动并动态消除；允许自由选择整个系统的尺寸和配置，可通过增加隔振模块的数量来支持更大的仪器载重量。安装简单，易操作，稳定性高，能无故障连续使用多年、�/span>

产品特点

• 主动隔振频率 1Hz - 200Hz

• 被动隔振频率>200Hz

• 5-20ms的响应时闳�/span>

• 安装简单，容易使用

• 稳定性高，能无故障连续使用多平�/span>

• 紧凑、模块化的多功能设计

• 多种规格尺寸的面板支持各种研究及应用

• 产品应用

• STM

• Spinstand

• AFM

• 干涉测量

• 摩擦�

• 轮廓测量

• 其他高精密仪�?/span>

• 性能优势

• 系统主动检测输入振动并动态消陣�/span>

• 六个空间方向的自由隔�?/span>

• 系统内部反馈回路抑制所有机械共�?/span>

• 低频隔振性能优秀

• 无低频共振、无空气要求

技术参�

隔振范围 主动:1-200Hz ;被动: >200Hz

传输� 超过10Hz< -35 dB

模块尺寸 W 5.1� x D 23.6� x H 4.3� (AVI-200 M)

模块重量 20 KG / 44 Lbs

静态柔�?每个模块)

垂直方向 � 1.75 ��m / N

水平方向 � 1.3 ��m / N

系统噪声 低于50nG/√Hz

耗电� 通常情况下为9 W

输入电压 90 - 125 VAC / 200 - 250 VAC� 50 - 60 Hz

控制器尺� 48 x 13 x 25 cm / 19 x 5.1 x 9.8“�/span>

性能监控 通过在示波器上显示的一个多重信号表示各传感部位是否隔振

型号 隔振模块尺寸（每个模块） 载重（每个模块）

AVI-200M 长x宽x高：5.1" x 23.6" x 4.3" 150kg/ 330lbs

AVI-200M Extra 长x宽x高：5.1" x 23.6" x 4.3" 190kg/ 418lbs

AVI-200M Plus 长x宽x高：5.1" x 23.6" x 4.3" 230kg/ 506lbs

AVI-200M LTa长x宽x高：5.1" x 23.6" x 4.3" 60kg/ 132lbs

AVI-200M S 长x宽x高：5.1" x 14.1" x 4.3" 150kg/ 330lbs

AVI-200M LTa长x宽x高：5.1" x 23.6" x 4.3" 190kg/ 418lbs

兼容性：

AVI-200 work station 主动隔振台可与LFS低频稳定器配套使用来增强低频隔振效果，隔振频率低频段延伸�?.5Hz、�/span>

主动隔振，主动减振，主动除振，主动防振系统。为各类透射式电子显微镜(TEM)、扫描式电子显微�?SEM)、发射式电子显微镜、探针显微镜、扫描隧道显微镜、原子力显微镜（AFM）、横向力显微镜、�/span>白光干涉仪，光刻机，微纳米结构和加工仪器！超低频隔震台、防震台、减震台、除震台、�/span>