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柜谷科技发展(上海)有限公司
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电化学仪?/a>
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品牌传达企业理念
产品简今/div>
产品简今/strong>
原子分辨?00 kV透射电子显微镛/p>
在精细加工技术已进入到亚纳米级水平的半导体,先进材料的研发领域,原子分辨率电子显微镜正在成为日益重要的,不可或缺的工具、/p>
为了满足这种高端需求,日立高新技术公司研发出 H-9500透射电子显微镜,此款高分辨透射电子显微镜不仅具备实地验证过的各种优秀性能,而且配置了很多满足客户多种需求的独特功能,并采用了数字技术,便于用户及时快速获取原子水平的样品结构信息、/span>
用户友好型的操作系统
和Windows?兼容的图形用户界面设讠/p>
快速的样品分析?分钟换样?分钟内升高压?300 kV)
高稳定性,高分辨率透射电子显微镛/p>
点分辨率?.18 nm,晶格分辨率?.1 nm
稳定可靠?轴优中心测角?/p>
性能优异,可靠性高
性能优异,可靠性高
得到市场验证?0级加速器电子枪设讠/p>
阻抗式高压电缆设讠/p>
高档可选附仵/p>
高档可选附仵/p>
通用样品杆,在日立公司的TEM FIB STEM系统均可使用
可为原子分辨率的动态研究提供加热,冷却和气体注入等多种样品杅/p>
备注:FPD(平板显示?上的图像为模拟图像、/p>
规格
项目 | 说明 | |
分辨玆/td> | 0.10nm(晶格分辨? 0.18nm(点分辨率) |
|
加速电厊/td> | 300kV?00kV*1?00kV*1 | |
放大倍率 | 连续放大模式 | 1?00??00?00 |
选区模式 | 4?00?00?00 | |
低倍模弎/td> | 200?00 | |
电子?/td> | 灯丝 | LaB6(六硼化镧灯丝,直流加? |
灯丝交换 | 自动升降式电子枪 | |
高压电缆 | 阻抗电缆 | |
照射系统 | 透镜 | 四级透镜 |
聚光镜光阐/td> | 4孔可受/td> | |
探针尺寸 | 微米束模式:0.05 - 0.2 m(4? 纳米束模式:1 - 10 nm(4? |
|
电子束倾斜 | 3 | |
成像系统 | 透镜 | 五级透镜 |
聚焦 | 图像摇摆调整 利用像散监视器进行正焦补偾/p> 聚焦优化 |
|
物镜光阑 | 4孔可变光阐/td> | |
选区光阑 | 4孔可变光阐/td> | |
电子衍射 | 选区电子衍射 纳米探针电子衍射 会聚束电子衍尃/td> |
|
相机长度 | 250 - 3?00 mm | |
样品宣/td> | 样品?/td> | 5轴优中心海帕测角?/td> |
样品尺寸 | 3mm | |
样品位置追踪 | X/Y = 1mm Z = 0.3 mm通过CPU控制马达驱动 | |
样品位置显示 | 自动驱动,自动跟?/td> | |
样品倾斜 | = 15 = 15(日立双倾样品台*2) | |
防污柒/td> | 冷阱 | |
烘烤功能 | 中温烘烤功能 | |
观察宣/td> | 荧光屎/td> | 主屏?10 mm 聚焦屏:30 mm |
目镜 | 7.5 | |
照相宣/td> | 区域选择 | 整张照相/半张曝光 |
胶片 | 25?2套胶片盒) | |
图形用户界面 | 操作系统 | Windows XP |
显示?/td> | 19英寸显示?/td> | |
功能 | 数据库,测量,图像处琅/td> | |
数码CCD 相机*3 | 相机耦合 | 透镜耦合 |
有效像素 | 1?24 1?24 像素 | |
A/D 分辨玆/td> | 12佌/td> | |
真空系统 | 电子?/td> | 离子泵:60 L/s |
镜筒 | 涡轮分子泵:260 L/s | |
观察?照相宣/td> | 扩散泵:280 L/s 前级泵:135 L/min 3?/td> |
*1:放大倍率校准为可选项
*2:可选件
*3:本规格适用于可选的1?24 1?24像素的数码CCD相机
以上规格是在加速电压为300 kV时的承诺
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