编号：CPJS06455
篇名� 基于石墨烯复合薄膜的平面微电�
作者： 闫丽� 郭磊 支绍� 冯竹 雷冲 周勇
关键词： 微电子机械系�?MEMS) 石墨烯薄� 微电� 真空干燥 平面线圈 石墨�?铜复合导�
机构：上海交通大学电子信息与电气工程学院 上海交通大学薄膜与微细技术教育部重点实验宣�br>摘要� 石墨烯由于其独特的组成结�?具有极其优异的电学性能,基于石墨烯薄膜的电子器件越来越受到研究者的关注。通过将石墨烯与微型导电线圈结�?探究石墨烯对线圈微电感性能的影响。滴涂石墨烯并通过三组对比实验确定石墨烯薄膜的干燥方式(-5℃冷干干燥、室温真空干燥和室温自然干燥)。结果显�?室温真空干燥形成的石墨烯薄膜更为连续均匀、薄膜厚度小且电阻率更低。进一步实验得�?45℃为室温真空干燥方式的较佳干燥温度。采用微电子机械系统(MEMS)工艺制备三种不同材料的微型导电线�?铜导线、石墨烯/铜复合导线、石墨烯导线)。对三种线圈的电学参数进行测�?发现石墨�?铜复合导电线圈的电感性能有较大提高�