编号：SBJS00673
篇名� 基于悬浮式石墨烯的应变传感器发展概述
作者： 张玮� 李晓� 张子� 尚雅� 李晓�
关键词： 石墨� 悬浮� 应变传感� 压力灵敏�
机构：河北大学物理科学与技术学院河北省光电信息材料重点实验� 中国科学院半导体研究所半导体超晶格国家重点实验宣�br>摘要� 石墨烯材料具有独特的机械与电学性质,迅速成为当前科研的热点。基于石墨烯构建应变传感�?不仅可以丰富传感器的构建材料,而且借助石墨烯特有的性质,可以研制出比硅性能更优异的应力传感器。本文介绍了近些年来悬浮式石墨烯应变传感器的设计与制造技术的发展,介绍了传感器的结构、原理、灵敏度等性能,阐述了对传感器的结构和性能进行改进和优化的过程。基于悬浮式石墨烯的应变传感器可应用于纳机电系统（NEMS�?在医学、生物等纳米领域具有巨大的应用潜力�