编号：NMJS06786
篇名� 低温氧等离子体处理对单层石墨烯微观结构影响的研究
作者： 邓海� 王权
关键词： 低温氧等离子� 化学气相沉积 石墨� 拉曼光谱 XPS 原子力显微镜
机构：江苏大学机械工程学� 中科院传感技术国家重点实验室
摘要� 运用低温氧等离子体对化学气相沉积法生长的单层石墨烯进行处�?通过拉曼光谱仪和X射线光电子能谱仪来表征处理前后的变化,重点探讨了低温氧等离子体处理对单层石墨烯微观结构的影响。在拉曼光谱�?处理后的石墨烯出现了明显的D峰和D′峰,同时G峰和2D峰也出现了明显的退�?而G峰峰位右�?2D峰峰位左移。通过X射线光电子能谱表�?表明处理后向石墨烯中引入了较多的官能团。利用原子力显微镜研究了处理前后SiO2/Si基底上石墨烯的表面形�?发现低温氧等离子体处理后石墨烯表面高度明显增�?同时褶皱减少�