“狭缝涂布精密成膜装备系统”是一个高端先进制造业项目，其成膜技术可在玻璃、塑料、不锈钢等基体上精确涂布制备功能纳米、微米薄膜，在许多光电领域，如平板显示、触摸屏、薄膜太阳能电池、半导体元器件及封装、柔性及印制电子、智能玻璃等，有着非常广泛的应用、�/span>

从研发用150mm平台�?/span>6代线，为用户提供灵活多变的配置方案。不仅用于光学膜(增亮膜�?/span>hardcoat、偏光膜、扩散膜筈�/span>)�?/span>OLED涂布等，还可以用亍�/span>有机太阳能电池OPV和钙钛矿太阳能电池PVK等成卷基材的涂布，也应用于非连续基材妁�/span>LCD玻璃基板光阻涂布、�/span>

狭缝涂布技术适用于各种涂布液，可广泛应用于不同基材表面的涂布，如玻璃，不锈钢和塑料基片涂布模具相对于基片精确地运动，并精确检测控制工艺流体及其涂布速度、�/span>

优势

可涂布不同粘度的各种材料

涂布厚度范围广泛:仍�/span>20nm�?/span>150��m以上

很好的涂布一致�?/span>:通常优于��3%

效率髗�/span>/材料利用率高:材料利用率可辽�/span>95%

能够满足不同需求：从研发到小批量试制、大量生�?/span>

工艺具有高的可靠性和鲁棒�?/span>:良率可达�?/span>95%

适用亍�/span>S2S咋�/span>R2R加工模式

在一个工艺周期内可实现矩形阵列的涂布加工

过程参数

涂布间隙控制：动态控制涂布头高度(z轳�/span>)

模具运动控制:在涂布方向上(x轳�/span>)精确控制模具的运动轨迸�/span>(包括加速和减速参�?/span>)

模具设计:针对高一致性、化学兼容性、低充填容量咋�/span>条状涂布进行模具设计制速�/span>

涂布控制:涂布速率(稳态涂市�/span>)和涂布轮廒�/span>(前后边缘)的高精度数字化控刵�/span>

控制软件:所有配方参数，数据监控和反馈控制，数据采集分析、�/span>

应用领域

平板显示

LCD� OLED� Flexible� Touch Screen

LCD� OLED�柔性显礹�/span>�触摸屎�/span>

太阳能光伎�/span>

PV including CIGS� CdTe� OPV and C-Si

固态照昍�/span>

OLED lighting

高附加值玻璂�/span>

可调光智能玻璂�/span>�博物馆用玻璃

半导佒�/span>�微机电系绞�/span>�无线射频识别�聚合物电江�/span>�和各种有机及打印电子器件