�?）应用领埞�/span>

讠�strong>野�/strong>领域（平面平晶检测）＋�/span>

半导体工业（晶片检测）＋�/span>

大平板显示（平面检测）＋�/span>

手机工业（背板检测）＋�/span>

光学加工（窗口玻璃检测）＋�/span>

高精度精密机械（平面元件检测）＋�/span>

LED工业（蓝宝石衬底检测）＋�/span>

数据存储和科研院校教学仪器等多种领域、�/span>

平面平晶、窗口玻璃、光学平面、金属平面、陶瓷平面等光滑表面面形的高精度快速测量，90��直角棱镜和角锥测量、�/span>

�?（�/span>产品综述

无应力平面检测干涉仪是高性能模块化组合检测干涉仪中的一种，

它采用组合式激光干涉仪作为核心部件，主要用于高效检测高精度平面、�/span>

该产品包括光源、主机、成像以及镜头和相移等四大模块，主要技术指标已达到国际水平� 采用更加简便操作的俯式测量，拥有极高的测量精度和测量重复性，

突破了一等平面平晶限制，且其采样点可达上百万像素，能客观反映被测平面全貌、�/span>不仅测量精度高，而且具有极高的测量效率、�/span>

此款干涉仪可广泛应用高精度光学元件制造、计量检测、生物医学�?/span>

航空航天、国防、微电子、能源等众多领域具有广阔的市场前景、�/span>

�?（�/span>参数性能

测量原理９�/span>	斐索干涉原理
光源波长９�/span>	632.8nm
样品准直９�/span>	使用两个光点
电源:	220V 50HZ /11 0V 60HZ
操作系统９�/span>	Windows7/10� 32/64bit
CCD分辨率：	1280*960像素
软件９�/span>	H&L-p数字化相移分析软仵�/span>
精密度：	/600 PV
重复性：	�?/span>/500 PV
重复性：	�?/span>/1000 RMS
透射平面镜精度：	A/20 PV

我们的客户群体：苏州计量院，上海计量院，福建计量院，上海光机所，石家庄13所，上海现代先进超精密制造中心有限公司UPEC，长春理工，上海理工等、�/span>