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Fischione微束定点离子减薄系统1040
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美国
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技术特色：

? 独有 聚焦微束惰性气体离子束
? ?/span>低修复电压：50 eV
? 聚焦 束斑 直径９/span>1m
? 定位精度高，去除非晶层且不产生再沉积现象
? 采用氩离子束激发二次电子成像同时实现修复及定位
? 离子束可以对准定点位置或在一个选定的区域进行进行精细修夌/span>
? 配备 液氮 冷台，去除热损伤
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