技术优势：

1� 清洗功率可调节：0 to 99 watts：�/p>

2� 操作压力可调节：from 2 torr to 1 mTorr：�/p>

3� 清洗速度快；

4� 无需破真空进行清洗，实现原位清洗：�/p>

5� 即插即用设计方案，无需集成：�/p>

6� 采用从上到下清洗模式，降低对样品的损伣�/p>

7、微量等离子激发，消除清洗和成像交换之间的图像形成的迟滞现象；

8、扩展性好，可配用各类台式电镜、透射电镜原位清洗以及样品清洗使用