四方光电(武汉)仪器有限公司
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产品名称:红外气体传感器
产品型号:Gasboard-2060
红外气体传感器产品概?/span>
红外气体传感器是由四方仪器自主研发的高性能气体传感器,产品基于非分光红外技?NDIR),能够精确测量半导体等应用中产生的SiF4、WF6、CF4、SF6、NF3、CO2等气?兼容机台内常见预留尺寸、法兰和通讯协议,可用于半导体沉积和清洗工艺的端点检测、腔室清理终端检?能够减少清洁时间,节约成本,提高产量、/p>
红外气体传感器产品特?/span>
使用NDIR技术,多气体监测支?SiF4、WF6、CF4、SF6、NF3、CO2等气?
响应时间快,高灵敏度
无耗材
模拟/数字通信
模块化设计,便于集成
红外气体传感器技术参?/span>
检测原琅/span> | NDIR |
检测气佒/span> | SiF4、WF6、CF4、SF6、NF3、CO2 |
量程 | 1~264ppm(0~200mTorr) |
重复?/span> | ±0.5% |
线?/span> | ±1%F.S. |
检测限 | 1ppm |
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企业名称
四方光电(武汉)仪器有限公司企业类型
有限责任公司(自然人投资或控股的法人独资(/span>信用代码
914201005519974097法人代表
熊友辈/span>注册地址
武汉东湖新技术开发区关东街道凤凰园一?号科梦除氨产业基??-5屁/span>成立日期
2010-04-19复制注册资本
3000万元人民?/span>有效期限
2010-04-19 2030-04-19经营范围
一般项 : 技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推幾软件开叐信息系统集成服务;碳减排、碳转化、碳捕捉、碳封存技术研叐石油天然气技术服加物联网技术研叐机械设备研发;仪器仪表制速仪器仪表销?大气污染监测及检测仪器仪表制速大气污染监测及检测仪器仪表销?环境监测专用仪器仪表制速环境监测专用仪器仪表销?环境保护监测;电子产品销?电子元器件批叐非居住房地产租赁;货物进出叢技术进出口;进出口代理。(除许可业务外,可自主依法经营法律法规非禁止或限制的项目)