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半导体行业专用仪?/a>
途:
该设备是加工晶棒参考边(OF面)时定向的专用仪器,是外圆滚磨机床后道工序的配套设备,将外圆滚磨机磨好的晶棒放在该仪器上进行定向;然后到平面磨床上磨参考面;其定向角度是固定式,客户可根据自己的晶体材料选择不同晶体的角度,如;蓝宝石A、R面;硅、砷化稼、锗?10)面等晶体的角度。(订货时晶向角度可自选)
特点9br style="margin: 0px; padding: 0px; list-style: none;"/>此设备的优点是测量精度高,一台设备的定向、能满足多台平面磨床的使用。标准配??英寸夹具各一套。(订货时夹具尺寸可以选配(br style="margin: 0px; padding: 0px; list-style: none;"/> 法:
把滚磨机床磨好的晶棒放到 V型槽专用夹具中,放到工作台上,使定向头慢慢向下移动直至碰到晶棒为止,打开射线光闸测量其晶向,然后慢慢转动晶棒找到参考边方向,反复几次准确的找到角度**值;然后将夹具锁紧,连同V型槽专用夹具一同放到平面磨机床上,磨出参考边、/span>
主要技术参数:
X 射线箠/span> |
铜靶,阳极接地,强迫风冷 |
厊/span> |
30KVP、全压合闷/span> |
?/span> |
0-5mA、连续可谂/span> |
电源输入 |
单相交流220V ?0HZ 0.5KW |
测量角度 |
固定式蓝宝石A?8°55‱/span> |
箠/span> |
盖革、电压DC700---1200V |
时间常数 |
0.1?.4?秒;3档可谂/span> |
X窗口控制 |
闷/span> |
测晶棒重野/span> |
20Kg晶棒 |
测晶棒直径;长度 |
直径2--4英寸、长50-300 mm |
V槽夹其/span> |
标准配置、直??、英寷/span> |
外形尺寸 |
?140×?50×?700 |
仪器重量 |
150KG |
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