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半导体行业专用仪?/a>
用途：该仪器专门用于硅单晶棒定向测量，与我公司生产的YX-5Z\6Z及多线切割设备配套使用，**特点是，测量晶向后直接计算出晶棒的偏转角，X和Y值，并对偏晶向的要求可进行准确计算出偏晶向的角度值、br style="margin: 0px; padding: 0px; list-style: none;"/>结构９/span>该仪器有X射线控制器、测角仪、记录仪、电磁光闸、微机控制、键盘、输入信息、屏幕菜单显示、数据打印、角度显示、峰值强度表等组成、br style="margin: 0px; padding: 0px; list-style: none;"/>
主要参数:
溏strong style="margin: 0px; padding: 0px; list-style: none;"> |
220V 50HZ |
玆strong style="margin: 0px; padding: 0px; list-style: none;"> |
0.5KV |
厊strong style="margin: 0px; padding: 0px; list-style: none;"> |
30KVP |
?strong style="margin: 0px; padding: 0px; list-style: none;"> |
0-5mA |
晶棒直径 |
3?2英寸 |
晶棒长度 |
500㎛strong style="margin: 0px; padding: 0px; list-style: none;"> |
测量晶向 |
111?00 |
定向精度 |
0.008度（±30″） |
角度显示 |
以度为单位?小读?.001?strong style="margin: 0px; padding: 0px; list-style: none;"> |
射线窗口 |
脚踏电磁光闸 |
计算角度 |
α与β（X与Y（strong style="margin: 0px; padding: 0px; list-style: none;"> |
寷strong style="margin: 0px; padding: 0px; list-style: none;"> |
?30×?50×?20 |
野strong style="margin: 0px; padding: 0px; list-style: none;"> |
260㎎/span> |
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