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2平/div> 称:
弗莱贝格仪器(上海)有限公司
证:工商信息已核宝br /> 访问量:28285
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产品简今/div>
MDPinline ingot系统是世界上*快的多晶硅晶锭电学参数特性测量工具。它是专为高通量工厂的单块晶锭测试而研发的。每块晶锭可以在不到一分钟时间里测量其四面。所有的图谱(寿命,光电导率,电阻?都是同时测量的
该系统包括一个数据库和统计数据评估,可用于自动确定精确的切割位置,以提高成品率。用于材料质量监控,炉选择和工艺改进、/span>
性能
无接触破坏的半导体特?/p>
少数载流子寿命的检测能劚/p>
先进的灵敏度让所有隐形缺陷可视化
自动切割标准定义
获取体材料性质的稳态测野/p>
完全自动化的内联集成
对太阳能级硅錠进行扫描,1mm分辨玆/p>
测量时间:1分钟内完成晶锭的面扫描,可自动测量所?个面
Automated determination of cut off criteria
优势
先进光伏晶圆厂多晶硅晶锭在线特性快速检测的世界记录、/span>
?分钟内完成分辨率大于1mm成像扫描测试,同时可完成电导类型转变的空间分布扫描和电阻率的
线扫描测试。客户定义的切割标准可以传输到晶圆厂数据库,该数据库允许对下一代光伏晶圆厂进行完全自动化的材料监控、/span>
对炉料进行质量控制和炉况监测,并进行失效分析。特殊的“underneath the surface”测量技术大大减少了表面重组造成的数据失真、/span>
Recognition of cracks chunks etc.Automated cut criteria definition lifetime map
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