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MDpicts微波探测光诱导电流瞬态谱?/div>
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MDpicts微波探测光诱导电流瞬态谱?/span>

灵敏度:对半导体材料电学缺陷?*灵敏?/p>

温度范围:液?77k)?00k。可逈液氦(4k)或更高温?/p>

衰减常数范围?0纳秒到几毫秒

沾污检测:电学陷阱基本性能确定:激活能和陷阱的俘获截面,受温度和注入水平影响的少子寿命参数筈/p>

重复性:> 99.5%,测量时间:< 60分钟。液氮消耗:2?欠/p>

灵活性:?65 nm ?480nm,根据不同材料选择不同波长激发光溏/p>

可访问性:基于IP的系统允许来自世界任何地方的远程操作和技术支?/span>

?. 与温度有关的载流子发射瞬?/span>

?.不同缺陷的评 ?.Arrhenius曲线国/span>

从Arrhenius斜率(?)可以确定活化能、/span>利用这种新型MDPpicts设备,可?0~500k范围内测量温度依赖性的瞬态光电导、/span>Si GaAs InP SiC和其他很多半导体材料已成功采用了这种方法进行研究、/span>

?. 不同温度的Cz-Si晶圆片的MD-PICTS图谱
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