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成都奋羽电子科技有限公司
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产品分类
半导体行业专用仪?/a>
远程微波等离子体系统RPS
阵列式微波源等离子模块ALAMPS
定制加工仵/a>
其他
光学仪器及设夆/a>
产品简今/div>
项目 |
固态源版本 |
磁控管版?/span> |
???nbsp; |
803mm*653mm*561mm |
803mm*653mm*561mm |
微波功率 |
1kW |
1.25kW |
微波频率 |
2450MHz±25MHz |
2450MHz±25MHz |
频率误差 |
±50ppm |
±50ppm |
微波泄露 |
?mW/cm2 |
?mW/cm2 |
供电电压 |
AC380V±10% |
AC380V±10% |
供电频率 |
50Hz±2Hz |
50Hz±2Hz |
启动模式 |
标准ON/OFF |
标准ON/OFF |
冷却方式 |
水冷 |
水冷 |
?出水叢/span> |
水冷?/8宝塔接头,水流量?.5L/min,进水温度小于环境温度时,两者温度差?0°C(/span> |
水冷?/8宝塔接头,水流量?.5L/min,进水温度小于环境温度时,两者温度差?0°C(/span> |
控制方式 |
本地触控屏控刵/span> |
本地触摸屏控刵/span> |
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