版本９�/span>

版本	工艺气体	羽流长度	羽流直径
V1.0	Ar、O2、压缩空氓�/span>	5mm	0.9mm
V2.0	Ar、O2、压缩空氓�/span>	5mm	1mm
宽幅	Ar、O2、压缩空氓�/span>

无电极，无污染源，长寿命：�/p>

等离子体不带电，不会对精密电路造成损坏：�/p>

能在高气压下维持等离子体：�/p>

有较高的电离和分解程度；

自偏压要求低：�/p>

微波发生器稳定，易控制；高压源和发生器互相隔离，安全：�/p>

半导体晶圆和集成电路制造（前、后道工序）中的等离子清洗设夆�/p>

LCD显示屏的制造设夆�/p>

太阳能电池生产的制造设夆�/p>

各种无机材料，高分子材料，玻璃，金属等的等离子清洗设夆�/p>