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产品详情

阵列式微波源等离子模块ALAMPS

阵列式微波源等离子模块ALAMPS的图�?/></a></div></div></div> <div class=

参考报价：: 面议
品牌９�/dt>: 奋羽电子
关注度：: 233
样本９�/dt>: 暂无

型号９�/dt>: 阵列式微波源等离子模块ALAMPS
产地９�/dt>: 四川
信息完整度：
典型用户９�/dt>: 暂无

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半导体行业专用仪�?/a>

远程微波等离子体系统RPS 阵列式微波源等离子模块ALAMPS 定制加工仵�/a>

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光学仪器及设夆�/a>

产品简今�/div>

技术参�?/span>

项目	固态源版本	磁控管版�?/span>
�?�?髗�/span>	626mm552mm380mm	605mm595mm632mm
输出功率	1.0kW×2	1.25kW×2
输出频率	2450MHz±25MHz	2450MHz±25MHz
频率误差	±50ppm	±50ppm
微波泄露	�?mW/cm2	�?mW/cm2
供电电压	AC220V±10%	AC220V±10%
供电频率	50Hz±2Hz	50Hz±2Hz
�?出水叢�/span>	1/8宝塔接头	DN15
冷却方式	水冷�?/8宝塔接头，水流量�?.5L/mi0)	水冷�?/8宝塔接头，水流量�?.5L/min)
控制接口	RS485通信协议	远程通讯功能
工艺气体	Ar、O2、H2、CF4筈�/span>	Ar、O2、H2、CF4筈�/span>
等离子处理面�?/span>	0.19m2	0.15m2

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