奋羽电子微波等离子模块_报价-成都奋羽电子科技有限公司

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BPS 1.25 技术参�?/span>

项目	固态源版本	磁控管版�?/span>
�?�?髗�/span> (辐射模块)	490mm390mm128mm	490mm390mm128mm
腔体体积	106L	106L
输出功率	1.0kW	1.25kW
输出频率	2450MHz±25MHz	2450MHz±25MHz
频率误差	±50ppm	±50ppm
微波泄露	�?mW/cm2	�?mW/cm2
供电电压	AC380V±10%	AC380V±10%
供电频率	50Hz±2Hz	50Hz±2Hz
�?出水叢�/span>	1/8宝塔接头	DN15
冷却方式	电源: 水冷�?/8宝塔接头，水流量�?.5L/min，进水温度小于环境温度时，两者温度差�?0°C（�/span> 辐射模块: 可选水�?风冷	电源: 水冷�?/8宝塔接头，水流量�?.5L/min，进水温度小于环境温度时，两者温度差�?0°C（�/span> 辐射模块: 可选水�?风冷
控制接口	RS485通信协议	具备本地触摸屏控制及远程通讯功能，MODBUS RTU 标准通讯协议�?600,N,8,1
工艺气体	Ar、O2、H2、CF4筈�/span>	Ar、O2、H2、CF4筈�/span>

BPS 3.0技术参�?/span>

项目	固态源版本	磁控管版�?/span>
�?�?髗�/span> (辐射模块)	490mm390mm128mm	490mm390mm128mm
腔体体积	106L	106L
输出功率	3kW	3kW
输出频率	2450MHz±25MHz	2450MHz±25MHz
频率误差	±50ppm	±50ppm
微波泄露	�?mW/cm2	�?mW/cm2
供电电压	AC380V±10%	AC380V±10%
供电频率	50Hz±2Hz	50Hz±2Hz
�?出水叢�/span>	1/8宝塔接头	DN15
冷却方式	电源: 水冷�?/8宝塔接头，水流量�?.5L/min，进水温度小于环境温度时，两者温度差�?0°C（�/span> 辐射模块: 水冷	电源: 水冷�?/8宝塔接头，水流量�?.5L/min，进水温度小于环境温度时，两者温度差�?0°C（�/span> 辐射模块: 水冷
控制接口	RS485通信协议	具备本地触摸屏控制及远程通讯功能，MODBUS RTU 标准通讯协议�?600,N,8,1
工艺气体	Ar、O2、H2、CF4筈�/span>	Ar、O2、H2、CF4筈�/span>

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