高分辨率高倍显微镜

高分辨率高倍显微镜飞纳电镜能谱一体机 Phenom ProX �?的集成化成像分析系统。借助该系统，既可观察样品的表面形貌，又可分析其元素组分、�/span>

研究样品时，得到样品的形貌信息只是解决了一半问题。获得样品的元素组分信息往往也是非常必要的。借助全面集成、特殊设计的能谱探测器，飞纳电镜能谱一体机 Phenom ProX 可以完善解决上述所有问题、�/span>

高分辨率高倍显微镜能谱仪是一种基于样品被电子束激发而产� X 射线的分析仪器。Phenom 的能谱仪无论软件、硬件都是完全集成设计在飞纳电镜能谱一体机 Phenom ProX 系统中、�/span>

Element Identification (EID) 软件可以使用户实现多点分析，检测样品的元素组分。此外，该软件还可以扩展到元素分析线面扫（mapping）功能。分步操作界面可以帮助用户更方便地收集、导出分析数据、�/span>

Phenom ProX主要技术参�?/strong>

光学放大	20 - 135 X
电子放大	80 - 150,000 X
分辨玆�/span>	优于 8 nm
数字放大	Max 12 X
光学导航相机	彩色
加速电厊�/span>	5 Kv - 15 Kv 连续可调
真空模式	标准模式 降低荷电效应模式
探测�?/span>	背散射电子探测器
样品尺寸	zui大直� 32 mm
样品高度	zui� 100 mm