入口法兰

DN63ISO-K�?/span>DN63CF�?/span>DN40NW�?/span>DN100ISO-K

出口法兰

KF16

押�/span>

逞�/span>

ISO63/63CF

DN40NW

ISO100

N₂

61l/s

42l/s

66l/s

He

57l/s

49l/s

59l/s

H₂

53l/s

48l/s

54l/s

厊�/span>

�?/span>

毓�/span>

N₂

>1��10¹¹

He

1��10⁶

H₂

5��10⁴

极限

真空

RV泵，ISO/CF

<5��10^-9/<5��10^-10mbar

隔膜泵，ISO/CF

<5��10^-8/<5��10^-9mbar

推荐前级泴�/span>^*

RV5/nXDS6i

放气叢�/span>/吹扫叢�/span>

1/8英寸BSP母螺纸�/span>

**连续入口压力（轻质气体）^?

水冷（水�?/span>15��C，环境温�?/span>40��C（�/span>

2��10^-2mbar

空冷（环境温�?/span>35��C（�/span>

1��10^-2mbar

泵转逞�/span>

标称转逞�/span>

90000rpm

待机转逞�/span>

49500~90000rpm可调

（缺�?/span>63000 rpm（�/span>

功率范围

50~120W可调

（缺�?/span>80W（�/span>

90%转速启动时闳�/span>

110s^?

模拟输出

泵转速、功耗、泵温度、控制温�?/span>

冷却方式^#

空冷/水冷

空冷环境温度

5~35��C

*小水冷流逞�/span>

＇�/span>15��C的水（�/span>

15l/ h

水温范围

10~20��C

入口法兰**温度

100��C

工作姿�?/span>

垂直、水干�/span>

噪声＇�/span>1m处）

<50dB(A)

**耐受磁场

5mT

推荐控制�?/span>

TIC100涡轮仪表控制�?/span>

稳态功耖�/span>

10W

货号

描述

B72241000

EXT75DX分子泴�/span>９�/span>DN63ISO-K入口法兰

B72242000

EXT75DX分子泴�/span>９�/span>DN63CF入口法兰

B72243000

EXT75DX分子泴�/span>９�/span>DN40NW入口法兰

B72245000

EXT75DX分子泴�/span>９�/span>DN100 ISOK入口法兰

B72246000

EXT75DX分子泴�/span>９�/span>DN100 ISOK入口法兰＇�/span>DN25NW前级泵接口）

B72235000

EXT75iDX分子泴�/span>９�/span>DN40NW入口法兰

B72237000

EXT75iDX分子泴�/span>９�/span>DN63ISO-K入口法兰

B72238000

EXT75iDX分子泴�/span>９�/span>DN63ISO-K入口法兰＇�/span>DN25NW前级泵接口）