入口法兰

DN100ISO-K＋�/span>DN100CF

出口法兰

KF25

押�/span>

逞�/span>

N₂

240l/s

He

230l/s

H₂

165l/s

厊�/span>

�?/span>

毓�/span>

N₂

>1��10¹¹

He

3��10⁵

H₂

1��10⁴

极限真空＇�/span>ISO/CF＋�/span>RV前级泵）

<6��10^-8/<5��10^-10mbar

推荐前级泴�/span>^*

RV12/nXDS10i

放气叢�/span>

1/8英寸BSP母螺纸�/span>

吹扫叢�/span>

1/8英寸BSP母螺纸�/span>

**连续入口流量（氮气）^?

水冷（水�?/span>15��C，环境温�?/span>40��C（�/span>

45sccm

空冷（环境温�?/span>35��C（�/span>

30sccm

泵转逞�/span>

标称转逞�/span>

60000rpm

待机转逞�/span>

33000~60000rpm可调

（缺�?/span>42000 rpm（�/span>

功率范围

50~200W可调

（缺�?/span>160W（�/span>

90%转速启动时闳�/span>

115s^?

模拟输出

泵转速、功耗、泵温度、控制温�?/span>

冷却方式^#

空冷/水冷

空冷环境温度

5~35��C

*小水冷流逞�/span>

＇�/span>15��C的水（�/span>

15l/ h

水温范围

10~20��C

入口法兰**温度

75��C

工作姿�?/span>

垂直、水平（��2��（�/span>

噪声＇�/span>1m处）

<45dB(A)

**耐受磁场

5mT

推荐控制�?/span>

TIC200涡轮仪表控制�?/span>

稳态功耖�/span>

20W

货号

描述

B81200100

nEXT240D涡轮分子泴�/span>９�/span>ISO100入口法兰

B81200200

nEXT240D涡轮分子泴�/span>９�/span>CF100入口法兰

B81200101

nEXT240D涡轮分子泴�/span>９�/span>ISO100入口法兰＋�/span>80W

B81200201

nEXT240D涡轮分子泴�/span>９�/span>CF100入口法兰＋�/span>80W

D39722000

TIC涡轮仪表控制器：200W�?/span>RS232

B58053175

nEXT径向风扇

B58053170

nEXT径向风扇，带泵驱动接夳�/span>

B80000815

nEXT水冷练�/span>仵�/span>

B80000812

油滤筒工其�/span>练�/span>仵�/span>

B80000805

轴承和油滤筒工具练�/span>仵�/span>

B80000811

油滤筑�/span>

B80000810

轴承和油滤筒