电路类型

电感反馈式自激振荡电路，全自动点火，同轴电缆输出匹配调谐，取功率反馈，进行闭环自动控制、�/span>

工作频率

40.68MHZ��0.05%

频率稳定�?/span>

<0.1%

输出功率

800，�/span>1500w

输出功率稳定�?/span>

≣�/span>0.3%

电磁场泄漏射强度

距机�?/span>30cm

电场强度E

<1v>

磁场强度H

<0.2A

输出工作线圈内径

25mm＋�/span>

3匜�/span>

炬管

三重同心石英炬管

同轴型喷雾器外径

6mm

双筒形雾室外徃�/span>

35mm

氩气流量计规格和载气压力表规栻�/span>

等离子气流量计（100-1000（�/span>L/h：�/span>(1.6-16L/min)

辅助气流量计＇�/span>10-100（�/span>L/h：�/span>(0.16-1.66L/min)

载气流量计（10-100（�/span>L/h：�/span>(0.16-1.66L/min)

载气稳压阀＇�/span>0-0.6M Pa（�/span>

光电倍增管规栻�/span>

R212UH

信号采集丹�/span>V/F交换

1mV对应100Hz

光电倍增管负高压

200-1000V

稳定�?/span><0.05%

光电倍增管电流测量范図�/span>

10^-12-10^-4A

光路

Czerny- Turner

焦距

1000mm

光栅规格

离子刻蚀全息光栅

刻线密度

3600纾�/span>/mm

分辨玆�/span>

≣�/span>0.008nm

刻线面积

80��110mm

扫描波长范围

3600纾�/span>/mm

波长范围

180-500nm

透镜

��30＋�/span>1９�/span>1成像

入射狭缝

20��m

发射镜规栻�/span>

＇�/span>78��105��16（�/span>mm

出射狭缝

20��m

步进电机驱动*小步跜�/span>

0.0005nm