技术指栆/span>
●适用晶片尺寸 2~8英寸圆片
●工作温度： 600℃～1300℃；
●可配工艺管数量?~2??/p>
●恒温区长度及精度：≤?.5?300~600mm ?00℃～1300℃）＋/p>
单点温度稳定性：≤?.5℃℃ /24h ?100℃）?nbsp;
●温度斜变能力：**升温速率20?min?*降温速率5?min?nbsp;
