湖南艾科威半导体装备有限公司
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立式炈/div>
立式炉的图片
参考报价:
面议
品牌9/dt>
艾科?/dd>
关注度:
802
样本9/dt>
暂无
型号9/dt>
立式
产地9/dt>
湖南
信息完整度:
典型用户9/dt>
暂无
非金属电热元件:
其他
金属电热元件9/div>
其他
烧结气氛9/div>
其他
索取资料及报件/a>
认证信息
高级会员 2平/div> 称: 湖南艾科威半导体装备有限公司
证:工商信息已核宝br /> 访问量:18439
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产品分类
产品简今/div>

立式炉主要适用?"?"?2"晶圆的氧化、合金、退火等工艺、/span>
氧化是在中高温下通入特定气体(O2/H2/DCE),在硅片表面发生氧化反应,生成二氧化硅薄膜的一种工艺。生成的二氧化硅薄膜可以作为集成电路器件前道的缓冲介质层和栅氧化层等、/span>
退火是在中低温条件下,通入惰性气体(N2),消除硅片界面处晶格缺陷和晶格损伤,优化硅片界面质量的一种工艺、/span>

应用领域9/p>

用于IC集成电路、MEMS、电力电子器件、光电子器件等领域、/p>

立式? width=

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