邓辉
副教掇/span>
| 专家姓名: | 邓辉 | 职务: | ||
| 职称: | 副教掇/td> | 专业类别: | ||
| 研究方向９/td> | ||||
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l 原子及近原子尺度制速 ACSM
l 原子选择刻蚀技? Atom-selective Etching l 原子迁移制造技? Atom-migration Manufacturing |
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| 自我介绍９/td> | ||||
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南方科技大学机械与能源工程系长聘副教授，博士生导师。邓辉博?017年加入南方科技大学后建?等离子体先进制造实验室-APMLab"。本团队致力于创新性超精密制造技术的研究，为制造技术向原子精度的突破贡献力量、br /> 实验室研究聚焦于两点：其一、以原子尺度物理化学反应为核心技术手段，开发非应力式原子级材料去除新方法，实现微观尺度的原子级精度制造；其二、以加工算法为基础，研究加工过程的量化控制与预测等关键技术问题，实现宏观尺度的纳米级精度制造、/div>
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| 所在单佌 | 南方科技大学 | |||
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