一、概�?/span>

SE-VM是一款超高精度快速测量光谱椭偏仪，其采用行业**的椭偏创新技术，具备1双旋转补偿器同步控制技�?/span>＋�/strong>2透明基底消背反技�?/strong>�?*技�?/span>、�span>快速实现光学参数薄膜和纳米结构的表征分析，适用于薄膜材料的快速测量表征。支持多角度，微光斑，可视化调平系统等高兼容性灵活配置，多功能模块定制化设计、�/span>

� 高精度椭偏测量解决方案；

� 超高精度、快速无损测量；

� 支持多角度、微光斑、可视化调平系统功能模块灵活定制：�/span>

� 丰富的数据库和几何结构模型库，保证强大数据分析能力、�/span>

二、产品特炸�/span>

� 采用高性能进口复合光源，光谱覆盖可见到近红外范� (380-1000nm)，可支持扩展紫外到近红外范围 (193-2500nm)

�高精度旋转补偿器调制、PCRSA配置，实现Psi/Delta光谱数据高速采集；

�支持系列配置灵活，可根据不同应用场景支持多功能模块化定制：�/span>

�数百种材料数据库、多种算法模型库，涵盖了目前绝大部分的光电材料；

三、产品应�?/span>

广泛应用于镀膜工艺控制、tooling校正等测量应用，实现光学薄膜、纳米结构的光学常数和几何特征尺寸快速的表征分析、�/span>

四、参数规栻�/span>