Leica EM RES102 通过离子枪激发获得离子束，以一定入射角度对样品进行轰击，以去除样品表面原子，从而实现对样品的离子束加工。Leica EM RES102主要功能为：对无机薄片样品进行离子减薄，使得薄片样品可被透射电子穿过，从而适宜TEM透射电子显微镜观察；对无机块状样品进行离子束抛光、离子束刻蚀，样品表面离子清洗及斜坡切割，便于SEM扫描电子显微镜观察样品内部结构信�?/span>

特点

　　? 具有2把离子枪，离子束能量�?.8keV-10keV，相对位置，可分�?#177;45��倾斜，样品台倾斜角度-120���?10��，离子束加工角度0���?0��，样品平面摆动角�?360��，垂直摆动距�?#177;5mm。实际操作参数根据具体应用需要选择（系统备有参考参数，也可自行设置参数并存储）

　　? 可选配样品台：TEM样品台（?3.0mm�?2.3mm），FIB样品清洗台，SEM样品台，斜坡切割样品台（对样�?5���?0��斜坡切割）等

　　? SEM样品台可容纳样品尺寸：直�?5mm，高�?2mm

　　? 全无油真空系统，样品室带有预抽室，保证样品交换时闳�1分钟

　　? 全电脑控制，触摸屏操作界面，内置视频观察系统，可实时观察样品处理过程