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X射线仪器
气体检测仪
半导体行业专用仪?/a>
鉴于鉴于气体在中红外光谱波段(4000~400 cm-1)内都有有特征吸收峰,可以采用封闭式气体样品池并用傅里叶红外光谱仪进行检测。分析过程不需要采样或者分禺span>+/span>因此中红外光谱法对检测气佒span>+/span>尤其是多组分混合气体来说是一种简单可靠的的测量方泔span>+/span>目前广泛应用于环境监测、化工、石油、医药、材料等领域、/span>
方法主要优势
通用性:单台傅里叶红外光谱仪可以用于多种气体物质定量和定性分析、/span>
多组分分析:在成分复杂的混合物中可以同时定性确讣span>10-20个组分,并定量测定各个组分浓度(不同组分的浓度允许达2-3数量级的差别)、span>
高灵敏度9/span>采用多道气体样品池,光程48m检测下限为0.1ppm,光稊span>4.8m检测下限为1ppm、span>
很宽的检测动态范围:同一个标准曲线从1*10?6‒/span>?span>100%、span>
主要应用
石油化工领域气体分析;
天然气工丙span>;
半导体行业有毒气体分枏span>;
医用气体杂质分析;
环境大气监测
KG48 4.8m光程气体样品江span>FSM2203测量参数
气体组分
|
检测下陏/span>
|
物质
|
检测下陏/span>
|
||
mg/m3
|
ppm
|
mg/m3
|
ppm
|
||
事/span>氧化?/span>NO2
|
1
|
0.5
|
硫化氡/span>
|
30
|
20
|
氧化?/span>NO
|
1.5
|
1
|
二氧化硫
|
1.5
|
0.5
|
?/span>NH3
|
0.07
|
0.1
|
苯乙?/span>
|
0.9
|
0.2
|
丙酮
|
0.2
|
0.1
|
甲苯
|
0.4
|
0.1
|
?/span>
|
1
|
0.3
|
三氯乙烯
|
0.6
|
0.1
|
1?-二氯乙烷
|
0.4
|
0.1
|
氧化碲/span>
|
0.6
|
0.5
|
二甲?/span>
|
0.9
|
0.2
|
苯酚
|
0.8
|
0.2
|
甲烷
|
0.08
|
0.1
|
甲醛
|
0.3
|
0.2
|
甲醇
|
0.1
|
0.1
|
乙苯
|
0.5
|
0.1
|
FSM2203特点
具有两个外围光学接口:进口接口用于接收仪器外的辐射,出口接口用于仪器外检测器以及非标准成套性;
氮气或者干燥的空气吹扫系统
可以另外配置PbS强制冷却检测器
FSM2203型主要技术指标:
基本配置指标
|
|
光谱范围 cm-1
|
2500}span>12000
|
光谱分辨玆span>+/span>cm-1
|
0.1
|
信噪毓span> 1min 4cm-1
|
>60000-1
|
图谱采集时间 4cm-1
|
1 sec
|
分束器材斘span>
|
KBr Ge镀屁span>
|
检测器
|
DLATGS
|
样品室尺寷span>,mm
|
200x200x190mm
|
仪器尺寸 mm
|
530x400x250
|
仪器重量 kg
|
36
|
扩充配置
光谱范围 cm-1
|
100}span>7800 3700}span>12500
|
检测器
|
Si InGaAs,PbSe
|
样品宣span>
|
可拆卸底盗span>
|
检测室
|
外围接口(接非标准检测器(span>
|
长光程气体样品池系列
KG-400长光程气体样品池
应用:气体杂质检测,检测下限为0.1ppm
光程长度9span>3.12~40.56m
光程调整间隔9span>3.12m
窗口材料:镀防水屁span>KBr或耄span>CaF2
样品池体积:19L
外形尺寸9span>995186186mm
|
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KG-48长光程气体样品池
应用:气体杂质检测,检测下限为1ppm
光程长度9span>0.8~4.8m
光程调整间隔9span>0.8m
窗口:直徃span>22m
窗口材料:镀防水屁span>KBr或耄span>CaF2
样品池体积:2.4L
外形尺寸9span>145125455mm
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